Ionisädekartioita

SIKAIDA Ion Beam Cones ovat ionisäteen implantointi- ja siirtojärjestelmien ydinkomponentteja. Ne on valmistettu erittäin puhtaista kehittyneistä keraamisista materiaaleista ja käsitelty tarkalla ruiskuvalulla ja korkean lämpötilan sintrauksella, ja niissä on erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, korkea lämpötilankesto ja vakaa mittatarkkuus. Ne voidaan työstää monimutkaisiksi geometrioiksi erittäin korkeiden toleranssivaatimusten täyttämiseksi, mikä tekee niistä sopivia korkean suorituskyvyn puolijohde-ionien implantointiprosesseihin.

Ammattimaisena valmistajana Kiinassa SIKAIDA tarjoaa luotettavia, kustannustehokkaita ja räätälöitäviä ionisädekartioita asiakkaille ympäri maailmaa puolijohteiden, litteän näytön, optiikan, mikroelektromekaanisten järjestelmien (MEMS) ja aurinkoenergian aloilla. SIKAIDA on luotettava pitkän aikavälin toimittaja ja omistautunut tuotantolaitos huippuluokan ionisuihkuprosessikomponenteille.

Materiaalit ja valmistus

1. Materiaalit

Ion Beam Conesissa käytetään materiaaleja, kuten alumiinioksidia (Al2O3), jonka puhtaus on ≥99,9%, piinitridiä (Si3N4), jonka puhtaus on ≥99,5%, zirkoniumoksidia (ZrO2), jonka puhtaus on ≥99,8 % (.9 99,9%) ja f. Kaikki materiaalit täyttävät puolijohdeteollisuuden tiukat puhtausstandardit ja sopivat eri sovellusten suorituskykyvaatimuksiin.

2. Valmistusprosessi

Valmistusprosessi sisältää tarkkuusruiskupuristuksen, korkean lämpötilan sintrauksen, CNC-tarkkuustyöstön, peilitason kiillotuksen sekä automaattisen puhdistuksen ja testauksen. Jokaisen prosessin tarkkuutta ja laatua valvotaan tiukasti, jotta varmistetaan, että lopputuote täyttää alan standardit ja asiakkaiden vaatimukset.

Tärkeimmät tuoteparametrit

1. Mittatarkkuus

Ionisädekartioiden toleranssit ovat ±0,05 mm, pinnan karheus Ra≤0,4 μm, sisäinen reiän kartiotarkkuus ±0,02 mm, koaksiaalisuus ≤ 0,03 mm ja kohtisuora ≤ 0,02 mm. Tämä erittäin korkea mittatarkkuus varmistaa tehokkaasti ionisäteen siirron tarkkuuden.

2. Pintakäsittely

Pintakäsittelyt sisältävät mekaanisen kiillotuksen peilipinnan viimeistelyyn, UV-kovettuneita pinnoitteita parantamaan pintaominaisuuksia, naarmuuntumattomia pinnoitteita parantamaan kulutuskestävyyttä sekä happopeittausta ja passivointia epäpuhtauksien poistamiseksi ja stabiilisuuden parantamiseksi. Sopivat hoitomenetelmät voidaan valita sovellusvaatimusten perusteella.

3. Suorituskykyindikaattorit

Ionisädekartiot toimivat lämpötila-alueella -196 ℃ - +800 ℃, mikä takaa vakaan toiminnan äärimmäisissä lämpötiloissa. Niiden tilavuusvastus on ≥10¹⁴Ω·cm ja pintaresistiivisyys ≥10¹²Ω, ja niillä on erinomaiset eristysominaisuudet. Ne kestävät myös erinomaisesti plasmaa ja kemiallista korroosiota, minkä ansiosta ne sopeutuvat monimutkaisiin prosessiympäristöihin.

Keskeiset edut

1. Erittäin puhdas: Raaka-aineen puhtaus ylittää 99,9 %, mikä minimoi puolijohdekiekkojen kontaminoitumisen, varmistaa laitteiden vakaan sähköisen suorituskyvyn ja täyttää puolijohteiden valmistuksen tiukat puhtausvaatimukset.

2. Erittäin korkea geometrinen tarkkuus: varmistaa yhdenmukaiset tuotteen mitat massatuotannon aikana, kartiovirheen ollessa ±0,05 mm ja pyöreysvirheen ollessa ≤0,02 mm, mikä vastaa tarkasti ionisuihkunsiirtojärjestelmien asennus- ja käyttövaatimuksia.

3. Peilimäinen pinnan laatu: Pinnan karheus Ra≤0,4 μm, vähentää tehokkaasti ionisäteen sirontaa, parantaa ionisäteen lähetyksen tasaisuutta ja optimoi edelleen puolijohdelaitteiden implantointitarkkuutta.

4. Laajan lämpötila-alueen vakaus: Toimii vakaasti syvässä kryogeenisissä ja korkean lämpötilan ympäristöissä. Materiaalilla on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin, joka säilyttää erinomaisen mittapysyvyyden jopa lämpötilan muutoksissa, estäen lämpötilanvaihteluiden aiheuttamat vaikutukset suorituskykyyn.

5. Erinomainen eristys ja korroosionkestävyys: Estää tehokkaasti varauksen kertymisen ionisäteen siirron aikana ja kestää vahvoja happoja, vahvoja emäksiä ja erilaisia ​​plasmakorroosioita, mikä varmistaa pitkän aikavälin vakaan toiminnan monimutkaisissa prosessiympäristöissä.

Räätälöidyt palvelut

Tuotemalleja ja kokoja voidaan räätälöidä erilaisten prosessivaatimusten mukaan. Tuettuja piirustusmuotoja ovat STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF ja fyysiset näytteet. Toimitusajan osalta näytetoimitus on 4-7 viikkoa ja erätuotteiden toimitusaika 8-12 viikkoa. Laatujärjestelmämme noudattaa ISO9001:2015-, SGS RoHS-, REACH- ja SEMI-standardeja, mikä varmistaa kokonaisvaltaisesti tuotteiden laadun ja toimitustehokkuuden.

Sovellusalueet

Ionisädekartioita käytetään laajasti useilla aloilla, mukaan lukien ioni-implantterit puolijohteiden valmistuksessa, prosessointilaitteet litteissä näytöissä, ionisuihkupinnoitus (IBD) ja ionisuihkuetsaus (IBE) -järjestelmät optisten laitteiden valmistuksessa, mikroelektromekaanisten järjestelmien (MEMS) valmistus, aurinkokennojen ioni-seostuslaitteet ja ioni-implantaatioprosessit, kuten kaksinapaisten siirtolaitteiden tehonsiirtolaitteet. (IGBT) ja teho-MOSFETit.

Usein kysytyt kysymykset:

Q1: Mitä materiaaleja ionisädekartioissa yleensä käytetään?

A1: Käytämme ensisijaisesti kehittyneitä keraamisia materiaaleja, kuten erittäin puhdasta alumiinioksidia (Al2O3), piinitridiä (Si3N4) ja zirkoniumoksidia (ZrO2). Näillä materiaaleilla on erittäin korkea puhtaus, erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys ja vakaat sähköiset ominaisuudet.

Q2: Voiko UET tarjota räätälöityjä määrityksiä ja pintakäsittelyjä? 

A2: Kyllä. UET voi mukauttaa kartioiden koon, kartiomaisuuden, materiaalityypin ja pintakäsittelyn prosessivaatimustesi mukaan. Meillä on laaja valmistuskokemus ja voimme täyttää asiakkaiden erityiset sovellusvaatimukset.

Q3: Miten ionisädekartioiden tarkkuus ja laatu taataan?

A3: Otamme käyttöön ISO9001:2015 laatujärjestelmän ja olemme varustettu erittäin tarkoilla testauslaitteilla, mukaan lukien koordinaattimittauskone, pinnan karheusmittari ja röntgenfluoresenssispektrometri varmistaaksemme, että jokainen tuote-erä täyttää tiukat alan standardit.

Q4: Mikä on toimitusjakso?

A4: Näytteen toimitussykli on 4-7 viikkoa ja erätuotteen toimitusjakso 8-12 viikkoa. Tietty sykli riippuu tuotteen monimutkaisuudesta ja tilausmäärästä.